产品参数
| 属性 | 详情 |
|---|---|
| 控制方式 | 全自动控制 |
| 极限真空度 | < 5.0×10-6 Pa |
| 抽速控制精度 | < 0.1 SLM |
产品详情
面向自由电子激光硬 X 射线系统的全自动慢充慢抽机组，具备高真空环境下的自动控制能力，适用于装置系统的充放气联动与过程管理。
- 全自动控制机组
- 极限真空度 < 5.0×10-6 Pa
- 支持慢抽阶段抽速精细调节
系统定位
- 适用于自由电子激光硬 X 射线装置系统的慢充慢抽控制任务，可提升真空系统充放气过程的自动化水平。
技术特点
- 具备总漏率、密封面漏率、抽速控制精度和最小可控充气流量等关键控制能力，适用于高真空系统配套。
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