产品参数
| 属性 | 详情 |
|---|---|
| 控制方式 | 手动控制 |
| 极限真空度 | < 5.0×10-6 Pa |
| 烘烤温度 | ≥120℃ |
产品详情
服务于硬 X 射线自由电子激光装置的慢充慢抽机组,采用手动控制方式,支持慢抽阶段抽速精细调节与充气流量控制,适用于高真空系统配套。
- 手动控制慢充慢抽机组
- 极限真空度 < 5.0×10-6 Pa
- 烘烤温度 ≥120℃
系统定位
- 用于硬 X 射线自由电子激光装置的慢充慢抽控制场景,可实现高真空系统的充放气过程管理。
技术特点
- 支持慢抽阶段抽口处最小可控抽速和充气流量调节,适用于高真空系统安全切换与过程控制。




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