微振隔振-主动控制/混合控制技术

保留原气浮隔振系统（设备不用拆装），竖向承载由气浮系统承担，微振控制采用压电陶瓷主动控制系统，控制位移的主动零刚度系统，2Hz处隔振效率大于50%，（原气浮隔振系统2Hz处放大了300%）。

设备总重10t，由VC-C控制至VC-E，控制力最大值12.5N。