宁静系列主动隔振器150

被动控制是无源控制方法，具有天然稳定性；

然而，当被隔振设备存在周期性快速冲击作用时，被动控制系统往往无法迅速使隔振平台达到稳定。

尤其是半导体芯片制造是一个非常复杂的过程，这些设备会受到负载移动的影响。

为实现对其在＜1Hz~100Hz的宽频带振动控制，确保环境振动和负载冲击振动下精密制造设备能迅速恢复满足工业生产需求的振动水平，项目组研制了基于压电效应的主动补偿控制系统和混合控制技术。

混合控制系统由高阻尼气浮隔振器和主动隔振器组成，可兼顾高承载性能和优越的隔振性能